● 激光功率實時監(jiān)控
● 來料CCD自動檢測及剔除
● 穩(wěn)定提效
● 電流電壓實時監(jiān)控
● 機臺360全時監(jiān)控
● 運行穩(wěn)定,便于維修
設(shè)備型號 | G9008 |
激光器 | >100W , 穩(wěn)定性<2% RMS , 使用壽命>20000小時 |
適用硅片尺寸 | 182*182mm-230*230mm |
單晶碎片率 | ≤0.015%@18x士0.5*18x士0.5;≤0.02%@210士0.5*210士0.5 |
激光器掃描定位精度 | ±15um |
效率增益 | ≥0.35%(不低于同行水平) |
劃線光斑尺寸 | 面掃光斑大小:1-1.2mm |
產(chǎn)能 | 匹配絲印工序產(chǎn)能 ,基于硅片尺寸 : 18x士0.5mm* (18x士0.5mm-210mm) ,單臺 機產(chǎn)能>9600片/小時 , CT<0.75S; 基于硅片尺寸 : 210士0.5mm*21x士0.5mm , 單臺小時 , CT<0.8S |