● AGV對接花籃自動上下料
● 8臺激光器同步工作
● 隱裂NG前端剔料
● CCD自動矯正定位
● 智能反饋
● 運行穩定,便于維修
| 設備型 號 | G 9009 |
| 激光器 | 4固體皮秒激光＋4紅外激光 |
| 激光壽命 | > 20000小時 |
| 適用硅片尺寸 | 182 * 182 m m ~ 230 * 2 30 m m |
| 適用 硅片厚度 | > 1 1 0 u m |
| 產 能 | 1 82尺寸 ≥9000片/小時 ( 柵線數量 ≥ 1 80 ) ； 2 1 0尺寸 ≥8000片/小時 ( 柵線數量 ≥ 1 80 ) |
| 稼動率 | > 9 8 % |
| 上料花籃 | 5X2 ＋ 1 ＋ 1 |
| 單 晶碎片 率 | ≤0. 025% |
| M T T R | ≤2 h |
| M T B F | > 50 0 h |
