準分子激光光束內的點到點的能量分布變動超過±l0%.這個數值對大面積高精度的燒蝕加工應用而言是偏大了。從原理上將，均束光學系統將光束切割成多片，并相互混合，zui終完成完整的均束分布。
    準分子激光雕刻切割機激光光束的均勻方案有許多種，包括棱鏡法、萬花筒法、波導腔法、二元光學法、非球面透鏡法、全息光柵濾波器法、反射鏡折疊光束法、光幅倒置疊加法、復眼、光纖、多孔膜。
    棱鏡法是用一菱形對稱棱鏡將原光束沿短軸方向中心對稱的切割成兩束，并在棱鏡后一位置重疊。激光雕刻切割機方法的優點是結構簡單，但缺點是僅在輸入光束嚴格對稱才令人滿意，并且獲得均勻光束截面的位置極嚴格地對稱于光楔的角度。

    萬花筒法是將光束入射到一萬花筒式的光學反射腔中。它的優點：制作、裝調簡易，價格低廉。但缺點是光能損失較大。當光強分布近似高斯分布的入射光以zui大入射角‰進入光波導后，只有和透鏡光軸平行的或和光軸成一較小夾角的光線不經過反射直接通過波導管，其余入射光的光線將在波導管內產生反射到達輸出面的不同點上。
    波導腔法是將準分子激光入射到一波導反射腔鏡中，利用類似光纖傳導的原理混合激光模式，實現對原光束的均束。激光雕刻切割機優點是光能損失低，但缺點是均束效果不太理想。

    二元光學法是制作二元光學的光變換器件，利用波動光學的原理，對準分子激光光束進行均束變換。它的缺點是制作過程復雜。
    非球面透鏡法是根據準分子激光光束分布來設計制作非球面透鏡，缺點是光學設計、加工不容易。
    全息光柵濾波器的缺點是它采用有機物基材，限制其在高功率紫外激光切割機的應用。
    光幅倒置疊加法的缺點：光效率低（60%）.方法原理由四片柱面鏡圍成一個中空的方形結構，每片柱面鏡安裝在一個精細調整架上，通過調節可以控制中空部分的尺寸和形狀，激光切割機中激光照射在裝置上，中空部分激光直接透過，照射在邊緣柱面透鏡上的光將補償到中間光的弱光強部分，通過計算柱面鏡的參數和適當調節調整旋鈕，就能得到均光效果。這種方法的優點是光束透過率較高，均光效果較好，但設計人員要求較高，設計人員需要計算鏡片參數及設計高精度的微調機構。

    反射鏡折疊光束法，工作原理當一束光強分布近似高斯函數的準平行激光束經過透鏡Li聚焦到反射鏡Mi上，經過一次反射后，其能量分布將按照圖所示發生光束方向的改變和能量疊加現象，同樣經過透鏡L2和反射鏡M2后，激光切割機光束將再一次疊加。這樣經過多次的光束疊加后，其初始的高斯光束能量分布將被均勻化。