無機非金屬材料如陶瓷、單晶、玻璃等與準分子激光切割機相互作用具有以下特點：①切割閾值能量密度比高分子聚合物和天然有機物高得多。如硼硅玻璃高達7.5J/cm2.②潛伏效應顯著。特別是硼硅玻璃在激光切割機開始后，在比閾值低得多的能量密度下也能高速率激光切割。③除玻璃外，其余材料的激光切割速率都很低。在入射激光能量密度高達30J/cm2情況下，刻蝕去除率不超過0.5um/pulse.④熔化重凝現象十分明顯，在較高能量密度和稍高脈沖重復率（4～10Hz）情況下，僅憑肉眼觀察即可肯定。
 

   20世紀80年代飛秒激光器在美國問世，飛秒技術得到迅速發展，90年代初，隨著寬帶可調諧激光晶體和自鎖模技術的出現，飛秒激光切割技術得到了突飛猛進的發展。以摻鈦藍寶石為代表的新一代飛秒激光器輸出光脈沖的持續時間zui短可至5fs，激光中心波長位于近紅外波段（-800nm），特別是借助于啁啾脈沖放大技術，單個脈沖能量從幾個納焦耳就可放大至幾百毫焦耳、甚至焦耳量級，此時脈沖的峰值功率可達GW（10\9W）或TW（10\12W），再經過聚焦后的功率密度為lo～10\18W/cm2，甚至更高，在這種工作條件下，任何物質都將在瞬間內轉變成“灰飛煙滅’’，消失得“無影無蹤”！具有如此*峰值強度和極短持續時間的光脈沖與物質相互作用時，瞬間內的高能量密度沉積將使物質內部電子的吸收和運動方式發生變化，由于其能夠以極快的速度將其全部能量注入到很小的作用區域，避免了激光線性吸收、能量轉移和擴散等因素的影響，從而在根本上改變了激光與物質相互作用的機制，使飛秒激光加工成為具有超高精度、超高空間分辨率和超高廣泛性的非熱熔“冷”處理過程。

    飛秒激光加工與傳統的加工用激光器如二氧化碳（C02）激光器、固體Nd：YAG激光器相比較，由于飛秒激光切割機加工不產生熱影響區，能夠得到更高的加工精度；與*相比，雖然*的波長更加短，但是由于它的輻射能夠被大多數透明材料吸收，只能進行表面加工，而使用飛秒激光器不僅能夠進行表面微加工，還能進行體內微加工（材料透明情況下），且加工精度不低于使用*所達到的。飛秒激光加工所具有的*優勢引起了人們的關注，使該技術得到了廣泛的發展，開創了激光切割機加工的嶄新領域。