對(duì)于準(zhǔn)分子激光切割機(jī)與聚合物材料之間的相互作用機(jī)理仍然存在著爭(zhēng)論,問(wèn)題主要集中在:光解切割過(guò)程是光化學(xué)過(guò)程還是光熱過(guò)程或是兩者并存的過(guò)程;激光切割機(jī)的激光能量、波長(zhǎng)等參數(shù)與切割率間的關(guān)系;對(duì)于切割閾值的分析。
光化學(xué)過(guò)程認(rèn)為,由于準(zhǔn)分子激光切割機(jī)具有很高的光子能量,高于部分聚合物的結(jié)合鍵能。在激光輻射的范圍內(nèi),在材料吸收的光子流量超過(guò)閾值后,實(shí)現(xiàn)光解并產(chǎn)生化學(xué)鍵的斷裂,但斷鍵數(shù)量不斷增加,碎片達(dá)到一定的濃度時(shí),被刻蝕材料的體內(nèi)壓力和溫度的急劇升高導(dǎo)致發(fā)生體爆炸,使得碎片離開(kāi)基體,形成刻蝕。
在光熱過(guò)程的解釋中認(rèn)為,材料在被去除前,由于吸收紫外光光子能量產(chǎn)生電子和振動(dòng)激勵(lì),導(dǎo)致溫度的急劇升高并使得材料發(fā)生蒸發(fā)爆炸,實(shí)現(xiàn)切割。由于高聚物的熱擴(kuò)散很小,使得刻蝕僅發(fā)生在表面層,對(duì)周?chē)牧系挠绊懞苄 ?/span>
這是激光切割機(jī)加工的另一重大特征。首先,在激光切割機(jī)加工過(guò)程中,激光與物質(zhì)之間的能量轉(zhuǎn)移是建立在多光子吸收的基礎(chǔ)上,材料對(duì)能量的吸收與光子強(qiáng)度的3次方成正比,即能量的吸收高度依賴于激光強(qiáng)度I3.由于激光的強(qiáng)度在空間上一般呈高斯型分布,即入射激光經(jīng)過(guò)聚焦后在焦斑中心的位置強(qiáng)度zui大,趨向于焦斑邊緣時(shí),強(qiáng)度逐漸減弱。如果調(diào)節(jié)入射激光束,使得焦斑的中心強(qiáng)度剛好滿足材料的多光子電離閾值,則加工過(guò)程中的能量吸收和作用范圍就被*于焦點(diǎn)中心位置處的很小一部分體積內(nèi),而非整個(gè)聚焦光斑所輻照的區(qū)域。
例如,當(dāng)入射激光切割機(jī)激光經(jīng)過(guò)聚焦后的強(qiáng)度包絡(luò)如中的虛線所示時(shí),其相應(yīng)的光斑直徑(FWHM)值為1um,則加工過(guò)程中的光子吸收包絡(luò)為圖中的點(diǎn)劃線所示。如果控制激光脈沖能量,使得中心強(qiáng)度的70%剛好滿足光子吸收閾值,則相應(yīng)的加工范圍直徑約為0. 35um.
另外,如果將聚焦強(qiáng)度位于閾值附近的激光切割機(jī)激光射向某些透明材料的內(nèi)部空間,當(dāng)光束穿過(guò)表面行進(jìn)時(shí),一方面材料的透明特性使得光束的共振線性吸收可以忽略,另一方面,較低的光束強(qiáng)度又無(wú)法滿足材料的多光子非線性吸收要求。因此,光束幾乎可以毫無(wú)衰減地到達(dá)材料內(nèi)部的聚焦點(diǎn)。事實(shí)上,入射激光唯有在該點(diǎn)位置才能獲得較高的功率密度,發(fā)生多光子吸收和電離,從而實(shí)現(xiàn)材料內(nèi)部三維空間上任意部位的超精細(xì)加工,使得激光切割機(jī)加工過(guò)程具有嚴(yán)格的空間定位選擇能力。
由于激光切割機(jī)的脈沖持續(xù)時(shí)間非常短,能量在時(shí)間上高度集中。在同等能量的情況下,激光切割機(jī)的峰值強(qiáng)度大于納秒長(zhǎng)脈沖的1 05倍。因此激光切割機(jī)加工所需的脈沖能量閾值一般為毫焦耳或微焦耳量級(jí),較傳統(tǒng)激光加工消耗的光能量低。