產(chǎn)品特點(diǎn):
暫無
規(guī)格參數(shù):
技術(shù)規(guī)格 | TH-8212 |
激光器 | 華日/SP紫外納秒15W |
加工速度 | 2000-3000mm/s |
運(yùn)用領(lǐng)域 | 晶圓表面開槽光刻 |
上下料方式 | 全自動(dòng)模組 |
劃片速度 | 2000-3000mm/s |
對(duì)位方式 | 輪廓定位/模板匹配 |
視覺處理 | 灰度匹配 |
X軸移動(dòng)范圍 | 280mm |
Y軸移動(dòng)范圍 | 180mm |
θ軸 | 360deg |
開槽深度 | ≤10um |
邊緣毛刺 | ≤5um |
平臺(tái)水平度 | 5-15um |
激光器 | 華日/SP紫外納秒15W |