● 全自動運行,隱形切割
● 超高的加工精度
● 斜裂方向檢測,防止誤切割
● 多焦點切割,裂片直線度好,極小的斜裂角
● 側壁光滑,產品電測性能好
● 適應4-8寸Mini LED晶圓
● 運行穩定, 便于維修
項目 | 技術參數 |
設備型號 | G6009 |
激光器 | 1064nm 5W ≤10ps |
激光壽命 | ≥20000小時 |
平臺精度 | 重復精度±0. 5um ,定位精度±1um@20℃ ±1℃ |
平臺運行速度 | 運行速度800mm/s ,速度1000mm/s |
平臺運行加速度 | 運行加速度1.8G ,加速度2. 5G |
平臺切割范圍 | 300* 300mm |
適應產品尺寸 | 4 -8寸晶圓 |
適應材質 | 藍寶石≤0. 5mm、 玻璃 、石英≤1.2mm |
控制及軟件 | LASER STUDIO ,集成視覺 、激光和運動 |
設備重量 | 2500kg |