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5軸水平多關節型潔凈機械手臂

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具體成交價以合同協議為準

產品型號GTCR5000-AM

品       牌

廠商性質其他

所  在  地北京市

塑料機械網采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2024-12-19 16:49:15瀏覽次數：17次

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所在地區：北京北京市

聯系人：王先生

產品簡介

EFEM；AOI設備

詳細介紹

特點

    擁有適應各種不同設備布局的優點，采用動力強勁的伺服電機，雙手臂結構，晶圓搬運效率更高，可使用AC200伏電壓

  • 機械手臂標準臂長：210 mm，280 mm
  • 機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210 mm臂長）、或者3個FOUP（280 mm臂長）
  • Z軸（升降軸）標準長度：300 mm
  • 可搬運重量：手臂第3關節處基準4kgf以下
  • 雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
  • 適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
  • 配備動作監視器
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機
  • 通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優化
    能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
  • 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
  • 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
  • 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供優選的手指

應用設備實例

EFEM；AOI設備

規格
被搬運物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉 升降
可動范圍*
（手臂第3關節中心基準）		 553mm 335度 300 mm
搬運速度 (平均速度)* 833mm/sec 250度/sec 300 mm/sec
搬運速度 (速度)* 1400 mm/sec 350度/sec 450 mm/sec
精度* 0.0011度 0.0011度 1.96µm
搬運高度* 698mm（底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度）
重復性精度 ±0.1 mm以內
潔凈度 ISO標準 Class 2（驅動結構內部獨立排氣條件下）
廠務 電源：単相AC200V±10% 2 kVA
真空：優于-53 kPa

*測試機型：GTCR5280-300-AM，使用JEL標準真空吸附式手指

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