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深圳市智佳能自動化有限公司
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晶圓外觀檢測機Z21130設備功能晶圓類：MiniLED晶圓、光敏二極管
晶圓外觀檢測機 Z21130
設備功能
⚪ 晶圓類：Mini LED晶圓、光敏二極管。
⚪ 正面：電極（缺陷、刮傷/刮痕、臟污、多金、鼓泡、方向）發光區（多胞、剝落、磊晶、崩邊、變形、殘留）隔離槽（臟污、劃裂、超標、劃傷、崩缺）。
⚪ 反面：切割不良、凹凸點、崩缺、失晶。
產品亮點
⚪ 搭配3種倍率鏡組，使用者可針對晶?；蜩Υ贸叽邕x擇檢測倍率，系統搭配最小解析度為0.5um，通?？梢詸z測1.5um左右的瑕疵尺寸。
⚪ 使用的打光成像技術，結合明暗光場方式和光源角度、亮度及取像模式，可對應不同種類缺陷成像。
⚪所有檢測結果都會存檔記錄，提供瑕疵原始資料有助于分析生產瑕疵優勢。
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