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深圳市圭華智能科技有限公司


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TOPCon激光摻雜機

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品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2024-11-05 13:18:05瀏覽次數:40次

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產品簡介

TOPCon激光摻雜機

詳細介紹

設備特點
●  DOE整形光路實現線寬60-100um硬件可調

●  摻雜后表面外觀幾乎無損傷

●  摻雜區高濃度、深結、低方阻

●  25.2以上的光電轉換效率

●  兼容市場上絕大多數主流硅片

●  雙通道加工,效率高

●  實現硅片防護,破碎率控制在0.02%以內

●  自帶破品檢測及隱裂檢測功能,杜絕不良品向下游流轉



應用領域


樣品展示


設備參數

項目

技術參數

設備型號

G7000

激光器

>100W

振鏡掃描速度

50m/s

適用硅片尺寸(mm)

182-230

適用硅片厚度(um) 

100-180

圖形精度(um)

±15um

對準精度(um)

±15um

花籃容量(pcs)

200

產能(UPH)

>8500

線寬

設置值90um±5μm,80-100um硬件可調



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