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首昂光電(上海)有限公司
1)專業化的晶圓激光刻號打碼專用設備,適用于4-5-6英寸晶圓的軟打標、硬打標作業
1)專業化的晶圓激光刻號打碼專用設備,適用于4-5-6英寸晶圓的軟打標、硬打標作業。
2)支持OCR字符和點陣字符,適用于Si,GaAs,Ge,SiC,GaP,InP,Sapphire,Quartz等的軟打標、硬打標。
3)全自動生產可加工2"- 6"、4"- 8"、8“- 12"晶圓;
4)工業級激光器、穩定可靠、免維護;
5)光束質量好、標識精細、可讀性好;
6)操作界面友好、使用方便、無需外接冷水機;
7)自動取放料,雙臂模式提高工作效率,自動找晶圓中心,自動巡邊。
技術規格 項目 單位 數值
加工尺寸 晶圓尺寸 inch 6英寸
激光器功率 激光器出口處 w 20瓦
激光器波長 紅外光纖激光器 nm 1064納米
定位精度 mm 0.05毫米
重復精度 mm 0.02毫米
振鏡 掃描速度 mm/s 7000毫米/秒
振鏡類型 數字/模擬 高速數字式振鏡
協作機械手 取料手臂 數量 2個
負載 kg 1千克
臂長 mm 340mm
重復精度 mm 正負0.5mm
Z向行程 mm 145mm
電源 AC 兩相220~240V 50HZ
耗電量 KW 1.5kw
單獨接地電阻 Ω 小于4歐
共用接地電阻 Ω 小于1歐
其他規格 壓縮空氣供給壓力 MPa 0.5~0.8mpa
廠務真空供給 KPa -0.6kpa
排風口口徑 mm 50mm
4-5-6英寸晶圓的軟打標、硬打標。
適用于Si,GaAs,Ge,SiC,GaP,InP,Sapphire,Quartz等的刻號、打碼。
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塑料機械網 設計制作,未經允許翻錄必究 .? ? ?
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