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輪廓度儀Mahr XC20

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MarSurfXC20技術(shù)特征：PCV200驅(qū)動(dòng)器具有200mm(7.87in)的測(cè)量長(zhǎng)度及50mm(1.97in)的行程,與MarSurfXC2比較提供更多的功能包括:測(cè)量段：顯示的測(cè)量段無(wú)數(shù)量限制,每個(gè)測(cè)量段在記錄中都彼此獨(dú)立

詳細(xì)介紹

MarSurf XC 20技術(shù)特征：PCV 200 驅(qū)動(dòng)器具有200 mm (7.87in) 的測(cè)量長(zhǎng)度及50 mm(1.97 in) 的行程, 與 MarSurf XC 2 比較提供更多的功能
包括:
測(cè)量段：顯示的測(cè)量段無(wú)數(shù)量限制, 每個(gè)測(cè)量段在記錄中都彼此獨(dú)立。
使用雙測(cè)頭：進(jìn)行測(cè)量利用雙測(cè)頭可以對(duì)反向輪廓進(jìn)行測(cè)量, 例如既要求測(cè)量孔內(nèi)也要求測(cè)量外部參數(shù)的情況。在 XC 20 軟件中, 兩個(gè)相對(duì)輪廓都可以按標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)定, 及對(duì)兩個(gè)輪廓相關(guān)的參數(shù)進(jìn)行計(jì)算。
技術(shù)數(shù)據(jù)
驅(qū)動(dòng)單元 PCV 200 / LD 120
掃瞄長(zhǎng)度 (X方向) 0.2 mm 至 200 mm (0.0079 in 至 7.87 in)
測(cè)量范圍 (Z方向) 50 mm (1.97 in) , 適用于350 mm (13.78 in) 測(cè)臂
25 mm (0.98 in) , 適用于 175 mm (6.89 in) 測(cè)臂
測(cè)量系統(tǒng) (X方向) 高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)(出廠經(jīng)激光干涉儀校準(zhǔn))
測(cè)量系統(tǒng) (Z方向) 電感傳感器*, 高精度, 高線性度
測(cè)針?lè)直媛? Z方向) 0.38 μm (15 μin), 適用于350 mm (13.78 in) 測(cè)臂
0.19 μm (7.5 μin), 適用于175 mm (6.89 in) 測(cè)臂測(cè)
測(cè)點(diǎn)距離 (X方向) 1.0 μm 至 8.0 μm (40 μin 至 315 μin)
測(cè)量系統(tǒng)分辨率( Z方向) 0.04 μm (1.6 μin)
行程偏差 < 1 μm (40 μin) (在120 mm (4.72 in)全行程內(nèi))
測(cè)力 (Z方向) 1 mN 至 120 mN, 向下和向上
(可在 MarSurf XC 20 設(shè)定)
行程升角在光滑表面, 取決于表面傾斜程度:
向下降低時(shí)不超過(guò) 88°, 向上上升時(shí)不超過(guò)77°