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日立高新鎢燈絲掃描電子顯微鏡SU3500

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品       牌

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產(chǎn)品簡介

日立高新鎢燈絲掃描電子顯微鏡SU3500

詳細(xì)介紹

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日立高新高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡SU3500, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。

通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
日立高新鎢燈絲掃描電鏡SU3500具有實(shí)現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊1, 以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”＊1。
它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1：自選

特點(diǎn)
低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高，可更好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2，自動功能縮短＊3了大約11秒
具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測器）”＊4
具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊4
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根據(jù)觀察條件的不同，時(shí)間會有變動
（*4）：自選

規(guī)格

項(xiàng)目

描述
二次電子分辨率 3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式）
7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式）
背散射電子分辨率 4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式）
10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式）
放大倍率 5 - 300,000倍（底片倍率＊5）
7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6）
加速電壓 0.3 - 30kV
可變壓力范圍 6 - 650Pa
樣品尺寸 直徑 200mm
樣品臺 X 0 - 100mm
Y 0 - 50mm
Z 5 - 65mm
R 360°
T -20° - 90°
可觀察區(qū)域 直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用）
樣品高度 80mm（WD=10mm）
馬達(dá)臺 5軸標(biāo)配
電子光學(xué)系統(tǒng) 電子槍 預(yù)對中的鎢燈絲
物鏡光闌 4孔可動光闌
探檢測器 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
EDX分析 WD 10mm（取出角35°）
圖像顯示 操作系統(tǒng) Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知）
圖像顯示模式 全屏模式（1,280 × 960 像素）
小屏模式（800 × 600 像素）
雙圖像顯示（800 × 600 像素）
四屏幕顯示（640 × 480像素）
信號混合模式
排氣系統(tǒng) 操作 全自動排氣
渦輪分子泵 210升/秒 × 1
機(jī)械泵 135L/min（162L/min，60Hz）× 1

關(guān)鍵詞：電子顯微鏡
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