金屬反射鏡或介質膜反射鏡都可以作為導光反射鏡，是激光雕刻切割機中的一大重要部分。對金屬反射鏡而言，只有鋁適合作為高反射率材料。在激光雕刻切割機的使用中，作為激光設備在金屬材料的加工，鋁鏡也有缺點就是它非常軟，并且容易在經過一段時間后形成氧化鋁層，又再一次吸收紫外光。如果鋁鏡和MgF2層一起鍍膜，則可以獲得在紫外區的高反射率，提高激光雕刻切割機中的高效，并且耐用性也得以提高。在193nm，反射率約80%.高質量的反射鏡可以用介質鏡獲得。給出了高反射率介質反射鏡的透過率曲線.
    在UV區域，同樣的困難再次出現，就是只有幾種材料適合作鍍膜材料。在200nm以下，高折射物質有Al203、SC203、Hf02低折射率物質MgF2和Si02是zui合適的材料。可獲得的反射率達99.8%.

    被經常應用的望遠鏡是兩個正透鏡的伽利略型望遠鏡。其共軛平面被設計到接近激光輸出窗口（距離<lOOOmm）和均束器的出口孔徑處。相對激光雕刻切割機而言，開普勒望遠鏡（正和負透鏡）能被使用以節約空間。但它的缺點是共軛平面在無窮遠處，并且沒有孔徑被成像（更精確，在出口處或靠近準分子激光諧振腔處的近場剖面）。
    衰減準分子紫外激光切割機zui簡單的方法是在光路中置入紫外透明的窗口。每個窗口存在近8%的損耗。使用幾個窗口可以獲得不同的可選的衰減量，但對獲得大的衰減量，相對成本就比較昂貴。
    較經濟的方法是使用中性濾光片。包含金屬鍍層的中性濾光片，只能使用在低能量密度的情況下，因為金屬中存在的紫外光吸收。

    衰減片襯底當然使用對UV透明的材料。當金屬鍍層變化的時候，可以獲得不同的濾光片透過率。在紫外區域，石英或GaF2襯底都可以使用。鋁、金或鎳鍍層也可作為中性鋁光片使用在紫外區，一般鍍層厚度在幾個納米。
    一個比較好的使用可變衰減的衰減方法是介質截止濾光片。截止濾光片，像介質反射鏡，包含可變的r/4波長層，它有非常尖銳的在相應范圍的傳輸截止線。
    對于小衰減量：多片透光鏡組合，每片的衰減量為8%；
    中性濾光片：帶鍍層金屬，適用于低功率密度光照衰減。襯底：石英，CaF2晶體。鍍層：鋁、金、鎳。透光率隨膜層厚度而變化，其厚度一般為幾個納米的量級。

    角度衰減器：結構如同多層（即多層r／4波長交替）介質反射鏡，具有截止濾光功能，隨入射角度的不同透過率不同，具有很陡的透過率截止曲線。對248nm，在10度的時候透過率可達到90%；當入射角增加時，透射率較大幅度的減小。
    破壞閾值：介質反射鏡，在248nm，小于10J/cm2.金屬紫外激光切割機反射鏡和濾光鏡在小于200mj/cm2下使用。破壞閾值也與鏡片質量有關。隨作用脈沖數的增加，破壞閾值將不同程度的減小。未鍍膜基片的破壞閾值一般高于介質反射鏡。