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微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀

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上海貝丁漢工業自動化設備有限公司——主要從事各種進口儀器儀表、機械設備、電子產品及其配件等的銷售和技術服務工作。 為美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理,德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經營的主要產品包括激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡相位調諧儀,及瑞士Soclair Electronic公司PT-100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、高精度電壓信號轉換器、高精度電流信號轉換器、橋路信號轉換器、頻率變送器、模擬信號頻率模塊等。



    本公司的激光儀器主要為激光準直、對中、校正和系統檢測。功能包括各種機械設備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯軸器和電機軸的對中校正檢測等。廣泛應用于機床加工中心幾何量檢測、航空航天設備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業標線和艉軸管檢測、汽車發動機同軸度、電廠汽輪機隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設備輥軸的平行度的檢測,及機床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。



    信號轉換器類儀表用于將各種重量、溫度、壓力、電壓、電流和頻率等信號轉換為標準的工業控制信號,用于系統的集成和控制。廣泛應用于機械和設備工程、汽車、倉儲、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農業和包裝等行業。歡迎您選購我們代理經銷的各種產品,我們將以飽滿的熱情,周到的服務,客戶*的原則,為您提供滿意的產品和服務。


雙頻激光干涉儀,多點溫度測量儀,材料色散測量儀,相位波前角色散測量儀,載波包絡相位調諧儀,載波包絡相移測量儀,激光對中儀,激光平面度測量儀,激光同軸度測量儀
真正意義上的雙頻激光干涉儀,兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區別。德國耶拿爾公司是為數不多的雙頻激光干涉儀的制造商,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。
微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀 產品信息

   
產品名稱:微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀
產品型號:ZLM800
產品產地:德國
制 造 商:德國耶拿爾測量技術有限公司
 
詳細介紹:

    ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,主要用于微位移部件的測量,角度變化量的監測,移動平臺運動情況的檢測,及光刻機幾何量的測量,數控機床幾何量的測量,zui多可實現六軸聯動。具有以下性能優勢
l  真正意義上的雙頻激光干涉儀,兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區別。德國耶拿爾公司是為數不多的雙頻激光干涉儀的制造商,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。
l  全部部件皆在德國生產制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l   激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩頻精度高,一小時內為±0.002ppm,在產品壽命內可達±0.02ppm
l  干涉鏡采用差分干涉原理,系統精度更高,可達±0.4ppm
l  計算機輔助光路調整,調整結果更準確。
l  采樣頻率更快,zui高達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l  被測物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數據處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。
l   無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩定。
l  信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l  對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量,ZLM800型是理想的選擇

技術參數
型號:ZLM800
使用高性能數據處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩頻精度:
一小時2x10-9±0.002ppm
壽命內2x10-8±0.02ppm
系統精度(0-40℃時):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm可選3.2mm
激光管突發zui大輸出功率:
1mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數:
zui多6
線性測量距離:
40m,可擴展為120m
角度測量范圍:
± 15°20m軸線范圍
平面度測量范圍:
20m行程
直線度測量范圍:
± 5mm2m10m行程,
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍:
± 5mm2m10m行程,
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度:
4m/s可選16m/s
80rad/s,角速度
zui大加速:
無限制
zui高采樣頻率:
內部1MHz,外部40MHz
預熱時間:
10分鐘
精度/非線性:
±0.3nm (角隅反射鏡
±0.1nm (平面反射鏡
距離測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
距離測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
線性度測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度測量精度:
±0.5ppm實測值
角度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
角度測量精度:
±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
平面度測量精度:
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm2m行程
直線度測量精度:
±0.5%實測值,2m行程
± 2.5%實測值,10m行程
垂直度測量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm2m行程
垂直度測量精度:
±0.5%實測值2m± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m± 0.5弧秒*
數據接口:
積分信號
32 Bit (
實時時間
Dt » 20 ns
數據分析標準:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝

應用案例
以下是為*設計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應用案例。在*個案例中,用兩個3軸角度干涉儀分別監視兩個擺鏡的擺動,實時測試兩個擺鏡對應量(俯仰、偏擺和位移)的差異情況。在第二個案例中,用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況,2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。


 
以下是為國內某研究所某項目設計的ZLM800測量系統。用戶預先把被測物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數據是被監視目標Ⅰ、被監視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。


ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖





關鍵詞:PC
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