簡介
Introduction
采用的直驅電機驅動技術,具有噪音小、振動小、運行平穩(wěn)、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能,有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規(guī)劃,提高運動節(jié)拍,提高了用戶產能。安全區(qū)保護等功能有效地提高了產品的安全等級。在半導體前道設備中廣泛應用,對設備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務,快速響應的售后服務,以及敦實的技術實力,是我們的主要競爭力。推動了國內半導體產業(yè)鏈的進步,有效的支撐了國內設備商的發(fā)展。
參數(shù)
Parameter