機(jī)械設(shè)計(jì)
XENOS采用了機(jī)械設(shè)計(jì)理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測量機(jī)不同:Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部,分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動,更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。
所有軸均采用線性驅(qū)動
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點(diǎn):高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù),XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的定位精度。例如,測針偏移量越恒定,即可獲得測量精度。于測量曲面時更顯見:測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合,即可實(shí)現(xiàn)的精準(zhǔn)性。
虛擬驅(qū)動
XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng),得益于蔡司的驅(qū)動技術(shù)可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力。作為控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合,這是在整個測量范圍內(nèi)獲得的測量精度及運(yùn)動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。
碳化硅陶瓷
XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上采用新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機(jī)器上得到使用。與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時減重20%。與鋼材相比,碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。
加強(qiáng)型VAST gold
XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發(fā)過程中,蔡司在測量精度和測量重復(fù)度方面對該探頭進(jìn)行了優(yōu)化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達(dá)800毫米的測針以及重量高達(dá)500克的測針配套使用,包括非對稱型測針。
優(yōu)化的氣浮軸承
強(qiáng)化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。
改進(jìn)的電子設(shè)計(jì)
通過電子設(shè)計(jì),移動線纜對精度影響顯著降低。計(jì)算機(jī)輔助精度修正(CAA)法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得高測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用。
XENOS
應(yīng)用案例
XENOS可在各類要求高測量精度的領(lǐng)域使用——從科研機(jī)構(gòu)的測量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一測量機(jī)測量范圍近1立方米。