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3軸機械臂防水3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司成立于1999年11月,總部設于上海, 在深圳,香港,東京,河內(nèi)設立有分公司。公司一直致力于引進技術、制造設備、精密檢測儀器、關鍵生產(chǎn)材料,為中國電子制造企業(yè)服務。經(jīng)過二十多年的發(fā)展,公司通過收購合并已發(fā)展為具有自主工業(yè)軟件設計開發(fā),高精密裝置的設計及制造裝配能力的跨國企業(yè)集團。服務于新能源汽車制造、半導體生產(chǎn)、5G通訊制造,航空航天,智慧醫(yī)療,自動化工業(yè)控制等細分行業(yè)。如今我們正不斷努力,希望通過*高效的生產(chǎn)技術與設備,幫助您提高生產(chǎn)效率,降低能耗,保護環(huán)境。與您攜手營造綠色地球,共創(chuàng)美好未來。
x射線檢測儀
防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂特點:防水3軸圓柱坐標型機械手臂SWCR3000系列(配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機構(gòu)+邊緣夾持機構(gòu))在保護等級IP64LSI半導體生產(chǎn)工藝條件下
3軸機械臂防水3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂 產(chǎn)品信息

防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂特點: 


防水3軸圓柱坐標型機械手臂SWCR3000系列(配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機構(gòu)+邊緣夾持機構(gòu))

在保護等級IP64 LSI半導體生產(chǎn)工藝條件下,能夠在酸性,堿性環(huán)境下搬運半導體晶圓

手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性

手臂關節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈

零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條

Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式,下托式,邊緣夾持式

可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供的手指


防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂基本參數(shù)


使用環(huán)境

潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達距離

312mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)

升降軸行程

200mm / 300mm

可搬運質(zhì)量

3kg以下 (手臂第3關節(jié)處基準)




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