使用直線導軌作為線性導引時，由于直線導軌的摩擦方式為滾動摩擦，不僅摩擦系數降低至滑動導引的1/50，動摩擦力與靜摩擦力的差距亦變得很小。因此當床臺運行時，不會有打滑的現象發生，可達到μm級的定位精度。傳統的滑動導引，無可避免的會因油膜逆流作用造成平臺運動精度不良，且因運動時潤滑不充份，導致運行軌道接觸面的磨損，嚴重影響精度。而滾動導引的磨耗非常小，故機臺能長時間維持精度。由于直線導軌移動時摩擦力非常小，只需較小動力便能讓床臺運行，尤其是在床臺的工作方式為經常性往返運行時，更能明顯降低機臺電力損耗量。且因其摩擦產生的熱較小，可適用于高速運行。