超低溫冷卻液循環裝置5℃～35℃對半導體制造裝置發熱部分的冷卻：
單晶片洗凈轉載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
對激光裝置發熱部分的冷卻：
激光加工、熔接機的發熱部分、激光標志裝置、發生裝置、二氧化碳激光加工機等。
其他產業用機器發熱部分的冷卻：
等離子熔接、自動包裝機、模具冷卻、洗凈機械、鍍金槽、精密研磨機、射出成型機、樹脂成型機的成型部分等。
分析檢測機器的發熱部分的冷卻：
電子顯微鏡的光源、ICP發光分光分析裝置的光源部分、分光光度計的發熱部分、X線解析裝置的熱源、自動脈沖條幅器的發熱部分、原子吸光光度計的光源等。
數控機床、加工中心冷卻介質的降溫。
超低溫冷卻液循環裝置5℃～35℃產品概述：
1、導熱液體溫度可調節。
2、采用阿斯帕拉、丹佛斯、美優樂、谷輪等牌壓縮機，性能穩定，可連續工作。
3、人性化設計，靈活更方便。
4、微電腦溫度控制器，溫度數字顯示，調節單位0.1度，溫度范圍5度~35度可調。
5、采用熱氣旁通，節約能源，提高控制精度。
6、多種故障報警（超溫報警、傳感器報警、高壓報警、壓縮機過熱報警）。
7、開機延時保護。
8、所有部件均安全接地。
9、高性能循環泵，可保證每天連續24小時運行
技術參數：
型號 | FL-0250 FL-0250H | FL-0500 FL-0500H | FL-0700 FL-0700H | FL-1000 FL-1000H | FL-1500 FL-1500H | FL-2000 FL-2000H | |
介質溫度 范 圍 | 標準FL 系列溫度范圍 5℃～35℃ 只有降溫功能 | ||||||
FL帶H 系列溫度范圍 5℃～50℃ 不僅有制冷功能，并帶有制熱能力 | |||||||
溫控控制 | ASET多功能控制器 | ||||||
溫度控制 選 擇 | 導熱介質出口溫度控制 | ||||||
通信協議 | MODBUS RTU 協議 RS 485接口 | ||||||
溫度反饋 | 導熱介質溫度反饋 PT100 | ||||||
制冷量 | 20℃ | 2.5kW | 5kW | 7kW | 10kW | 15kW | 20kW |
10℃ | 1.8kW | 3.6kW | 5kW | 7.2kW | 11kW | 14.5kW | |
制熱量 H系列 有此功能 | 10℃ | 2.5kW | 5kW | 7kW | 10kW | 15kW | 20kW |
20℃ | 2kW | 4kW | 5.6kW | 8kW | 12kW | 16kW | |
45℃ | 1kW | 2kW | 2.8kW | 4kW | 6kW | 8kW | |
循環泵流 量、壓力 | Max25L/min 2BAR | Max35L/min 2.5BAR | Max35L/min 2.5BAR | Max50L/min 2.5BAR | Max75L/min 2.5BAR | Max75L/min 2.5BAR | |
儲液容積 | 15L | 25L | 30L | 35L | 50L | 75L | |
壓縮機 | 泰康 | 艾默生谷輪 | 艾默生谷輪 | 艾默生谷輪 | 艾默生谷輪 | 艾默生谷輪 | |
蒸發器 | 板式換熱器 | ||||||
操作面板 | 顯示設定溫度和測量溫度，觸摸鍵操作輸入溫度 | ||||||
安全防護 | 具有自我診斷功能；冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | ||||||
制冷劑 | R-410A | ||||||
接口尺寸 | DN-15 | DN20 | DN20 | DN20 | DN20 | DN-20 | |
外型尺寸 (風冷) | 400*600*1050 | 500*680*1350 | 550*680*1450 | 550*680*1450 | 620*680*1650 | 750*750*1750 | |
重量 (風冷) | 115kg | 145kg | 180kg | 225kg | 290kg | 340kg | |
電源 | AC220V 50HZ 1.5kW(max) | AC220V 50HZ 2.5kW(max) | AC220V 50HZ 3.5kW(max) | AC380V 50HZ 4kW(max) | AC380V 50HZ 5kW(max) | AC380V 50HZ 6.5kW(max) | |
外殼材質 | 冷軋板噴塑 | ||||||
選配 | 選配7寸彩色觸摸屏，記錄溫度曲線，數據導出采用excel格式 | ||||||
選配 | SUS304外殼 | ||||||
選配電源 | 220V 60HZ 三相，440V～480V 60HZ 三相 | ||||||
備注 | 可根據需求配置更大的儲液容積 | ||||||
