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北京銳潔機器人科技有限公司


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系統400片/h

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具體成交價以合同協議為準

產品型號SORTER SYSTEM

品       牌

廠商性質其他

所  在  地北京市

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更新時間：2024-12-19 17:15:28瀏覽次數：25次

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經營模式：其他

商鋪產品：25條

所在地區：北京北京市

聯系人：王先生

產品簡介

系統400片/h

詳細介紹

特點

    可實現400片/小時產率的高性能晶圓搬運系統，系統內部使用了本公司設計生產的高性能大氣機械手臂和校準器

  • 依據SEMI Standard標準(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
  • 校準器設有緩沖器功能, 使晶圓的更換成為可能, 實現了高吞吐量 (400片/h)
  • 搬運機械手采用路徑規劃方式, 無行走軸, 支持并列配置盒
  • 搬運機械手進行區域控制, 能夠順暢而快速地進行搬運
  • 配備ID閱讀器, 可以進行晶圓的ID讀取 (表里支持為選購件)

應用設備實例

半導體生產線

規格
對應片盒 300 mm FOUP（25片）
SEMI E47.1，E62標準品
對應晶圓 300 mm 硅片（厚度：775 µm）
Throughput* 400片/h
潔凈度 ISO標準 Class 2（FFU使用）
外形尺寸* W1756xD1200xH1901
重量* 大約 600 kg
廠務 電源：AC200V±15% 20A
干燥空氣：0.7 MPa to 0.4 MPa
真空：優于-60 kPa

*測試機型：4 FOUP對向擺放 400片/h


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