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北京銳潔機器人科技有限公司
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系統300片/h
可實現300片/小時產率的高性能晶圓搬運系統,系統內部使用了本公司設計生產的高性能大氣機械手臂和校準器
半導體生產線
對應片盒 | 300 mm FOUP(25片) |
---|---|
SEMI E47.1,E62標準品 | |
對應晶圓 | 300 mm 硅片(厚度775 µm) |
Throughput* | 300片/h |
潔凈度 | ISO標準 Class 2(FFU使用) |
外形尺寸* | W1250xD2500xH1900 |
重量* | 大約 800 kg |
廠務 | 電源:AC200V±10% 2kVA |
干燥空氣:0.5MPa±10% | |
真空:優于-53 kPa |
*測試機型:4個FOUP的inline類型(1臺潔凈機械手臂,1臺橫向移動裝置)
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