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上海精切半導體設備有限公司
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4"高功率空氣軸承主軸，30krpm時2.5KW
4" 高功率空氣軸承主軸，30krpm時2.5KW。直流無刷電機，閉環速度控制。覆蓋 12" 的圓形產品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤（不帶框架）。
系統配有閉環轉向臺，針對多角度切割進行優化，適用各種產品，例如：
? 陶瓷基板
? 氧化鋁
? 混合物
? 厚膜設備等
系統規格：
大面積系統配置：300mm x 300mm
刀片尺寸：4"-5"
主軸：空氣軸承，直流無刷，30 krpm/2.5 kW
分度軸（y）
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機
控制：線性編碼器
分辨率：0.2 µm
累積精度：1.5 µm
分度精度：1.0 µm
傳送軸（X）
氣動滑塊
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無刷電機
傳送速度：高達 600 mm/sec
切割深度軸（z）
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機
分辨率：0.2 µm
精度：2.0 µm
重復精度：1.0 µm
行程：50 mm
旋轉編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達3" - 可選
旋轉軸 (?)
驅動：閉環、直接驅動、直流無刷
精度：4 arc-sec
重復精度：4 arc-sec
行程：350度
視覺系統
數碼攝像頭、Fire-Wire技術、高亮LED照明（直射和斜射）
x55-x210或x35-x140（可選）連續數字變焦。
設施
電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相
氣源：260 L/min @ 5.5bar
主軸冷卻水：1.1 L/min廠務端用水
切割用水：3L/min
尺寸（WXDXH）
965×1300×1600 mm
重量：900 kg
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