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深圳市圭華智能科技有限公司
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更新時(shí)間:2024-11-05 13:52:07瀏覽次數(shù):58次
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硅晶圓全自動(dòng)隱切機(jī)
● 全自動(dòng)運(yùn)行,隱形切割
● 超高的加工精度
● 裂片直線度好
● 側(cè)壁光滑,產(chǎn)品電測(cè)性能好
● 適應(yīng)4-12寸硅晶圓
● 運(yùn)行穩(wěn)定, 便于維修
項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
設(shè)備型號(hào) | G6010 |
激光器 | 1080nm 50W ≤10ps |
激光壽命 | ≥20000小時(shí) |
平臺(tái)精度 | 重復(fù)精度±2um ,定位精度±3um@20℃ ±1℃ |
平臺(tái)運(yùn)行速度 | 運(yùn)行速度800mm/s ,速度1000mm/s |
平臺(tái)運(yùn)行加速度 | 運(yùn)行加速度1.8G ,加速度2. 5G |
平臺(tái)切割范圍 | 300* 300mm |
適應(yīng)產(chǎn)品尺寸 | 4 - 12寸晶圓 |
適應(yīng)材質(zhì) | 硅片≤1. 5mm、玻璃 、石英≦1.2mm |
控制及軟件 | LASER STUDIO ,集成視覺(jué) 、激光和運(yùn)動(dòng) |
設(shè)備重量 | 2500kg |
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