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更新時間:2024-10-25 23:30:31瀏覽次數:33次
聯(lián)系我時,請告知來自 塑料機械網臥式甩干機SA-SV702-D為本公司針對4~6"制程之需求,可控制0.3微塵顆粒70顆,其功能主要有清洗,高速脫水,低速烘干
臥式甩干機SA-SV702-D
為本公司針對4~6"制程之需求,可控制0.3微塵顆粒70顆,其功能主要有清洗,高速脫水,低速烘干。
技術參數:
1、設備用于4~6英寸硅片甩干工藝。
2、每批處理晶圓數量為50片,25片/腔體。
3、甩干機為上下雙工藝腔體設計,腔室內部為不銹鋼,特殊工藝可依據客戶要求鍍特氟龍防腐鍍層。
4、轉子的動平衡為片盒中的硅片從0~25片。
5、建議轉速1800-2000轉/min。
6、顆粒度增加值<70 (0.3 um) ; 甩干后表面無水漬、無污染物。
用于4寸~6寸晶片的清洗甩干,能根據客戶定制各種規(guī)格。
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