與MODEL6600相比，新開發的本儀器在低壓側精度更高，重現性更好，能夠快速準確地進行壓力調節。
本產品用于高靈敏度的分析儀器、研究開發或半導體制造設備。
- 具有低壓側高精度控制的特性
將壓力設為0.01?0.15MPa，在此條件下對于一次側壓力變化、二次側負荷電阻變化，具有重現性在±1％以內的高控制性能。 - 不使用潤滑油
接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成，不使用任何潤滑油，需要保持純凈狀態的半導體領域等。 - 防松螺母結構
通過防松螺母固定設定過一次的壓力調節位置，可防止設定發生變化。 - 不滲液型
本產品屬于不滲液型，不會發生氣體外泄，請您放心使用。
用途
- 用于氣相色譜儀
- 用于高純度氣體控制
- 用于低壓控制設備
- 用于半導體領域等
尺寸圖
標準規格
| 流體 | 各種氣體 |
|---|---|
| 一次側壓力 | 0.4MPa |
| 二次側控制壓力 | 0.01?0.15MPa |
| 流量 | 5L/MIN |
| 最小工作壓差 | 0.1MPa以上 |
| 耐壓力 | 0.8MPa |
| 重現性 | 在額定壓力的±1％范圍內 |
| 環境溫度 | 5?60℃ |
| 接口 | Rc1/8 |
| 流體接觸部分材質 | SUS316、氟橡膠、硬質玻璃 氟樹脂、SUS304、SUS303 |
流量特性
特殊規格
- 標準規格以外的接頭。
訂購方法
- 接口接頭時，僅IN OUT接頭。
儀表端口為止水栓。 - 壓力表口等價于OUT口。
可任意將某處設為表口或OUT口。
