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數(shù)字質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號(hào)MODEL DF-200C SERIES

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間:2024-11-26 12:53:22瀏覽次數(shù):32次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MODELDF-200CSERIESDF-200系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器,可在1秒(全范圍)內(nèi)實(shí)現(xiàn)±1%SP的精度和響應(yīng)

詳細(xì)介紹

MODEL DF-200C SERIES

DF-200系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器,可在1秒(全范圍)內(nèi)實(shí)現(xiàn)±1%SP的精度和響應(yīng)。
此外,它兼容多氣體和多量程,可輕松更換包括參考?xì)怏w在內(nèi)的7種氣體及其流量范圍,使其成為具有出色通用性的產(chǎn)品。

  • 高精度(±1%SP),高速響應(yīng)(1秒內(nèi)所有區(qū)域)
  • 支持多量程和多種氣體
  • 標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能(RS485)
  • RoHS。符合CE標(biāo)準(zhǔn)

DF-200C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方式 比例電磁閥(未通電時(shí)關(guān)閉)
目標(biāo)氣體(* 1) 多氣體:
N2(空氣,H2,He,Ar,O2,CO2)(* 2)
流量范圍(* 3) 10/30/50/100/300/500 SCCM,1/3/5/10 SLM(* 2)
控制范圍 2至100%(F.S.)
反應(yīng)能力(* 4) 總流量控制范圍在1秒內(nèi)(±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 5) ±1.0%SP(> 35%F。S.),
±0.35%F。S.(≦35%F。S.)
再現(xiàn)性 ±0.25%FS
工作壓差(* 6) 50至300 kPa(Ar,CO2:100.300 kPa)
入口壓力 500kPa(G)
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率(* 7) 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
溫度 允許周圍溫度 5~50℃
精度保證溫度 15~35℃
允許儲(chǔ)存溫度 -10~60℃
允許環(huán)境濕度 10~90%RH (無(wú)結(jié)露)
氣體接觸材料 SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼,Ni,PTFE,PCTFE,F(xiàn)KM
電氣連接 D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)(符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)),RJ-45模塊化插孔x 2
流量設(shè)定信號(hào) 0至5 VDC(輸入阻抗約1MΩ)
流量輸出信號(hào) 0至5 VDC(負(fù)載電阻10kΩ或更高)
數(shù)字通信 使用RS485旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)設(shè)置地址:最多99(9600 bps)
所需電源(DC) +15 VDC(±5%):150 mA,-15 VDC(±5%):150 mA
接頭(* 8) 1 / 4F 900(標(biāo)準(zhǔn)),1/4 UJR,Rc1 / 4
安裝姿勢(shì) 推薦水平方向
重量(* 9) 約850g

(* 1)應(yīng)為干燥氣體,清潔氣體,無(wú)腐蝕性成分,灰塵,霧氣等。

(* 2)使用專用軟件,可以更改氣體類型或?qū)M量程范圍更改為滿量程(FS)的30%至100%(CO2的30%至80%) 。

(* 3)流量校準(zhǔn)單元SCCM和SLM是在0°C和1個(gè)大氣壓下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。

(* 4)校準(zhǔn)氣體:保證N2。

(* 5)校準(zhǔn)氣體:N2,流量范圍精度(滿量程)。

(* 6)工作壓差可能因規(guī)格而異。

(* 7)不含滲透。
長(zhǎng)期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

(* 8)如需其他接頭,請(qǐng)另行詢問(wèn)。

(* 9)沒(méi)有配件的重量。

尺寸圖

接線連接

關(guān)鍵詞:控制器 傳感器 電磁閥 PTFE PC
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