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沈陽北博電子科技有限公司
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數字化系統協同設計、MEMS工藝制造SiO2層絕緣隔離擴散硅敏感電橋
1、主要特點
數字化系統協同設計、MEMS工藝制造
SiO2層絕緣隔離擴散硅敏感電橋
特殊功能結構和材料
適應高寬工作溫度范圍
適應與硅、玻璃兼容的介質環境
表壓、絕壓、差壓類型齊全
覆蓋低、中、高寬壓力量程范圍
小型化尺度適應發動機、風洞絕緣氣、液體動態壓力的“原位"或“亞原位"測
2 、主要性能技術指標
序號
項目
規格指標
備注
1
特殊種類
耐高溫沖擊
耐腐蝕
探針型
扁平型
2
壓力類型
表壓、絕壓、
差壓
基準壓力量程
100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10Mpa、20MPa、30MPa、40MPa、60MPa、100MPa、
100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa
1*
量程過載能力
≥2倍基準量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基準量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基準量程（≥60MPa）
2*
3
橋路電阻
1～3kΩ
3～5kΩ
5
零點輸出
≤ ±5mV
3*
6
滿量程輸出
＞50 mV（典型值）
3*
7
準確度
≤ ±0.25%FS （典型值）± 0.5%FS（值）
3*、4*
8
靈敏度對稱性
≤ ±0.3%FS（差壓）
4*
固有頻率
＞100kHz
＞10kHz
＞150kHz
9
工作溫度范圍
-55℃～+540℃
-55℃～+180℃
-55℃～+235℃
-55℃～+273℃
5*、1*
10
熱零點漂移
≤ 1.5%FS/55℃
5*、6*
11
熱靈敏度漂移
≤1.5%F.S /55℃
5*、6*
12
短期穩定性
≤±0.03%FS/8h
3*
13
長期穩定
＜±0.1%FS/年
14
激勵電源
恒流1～1.5mA,或恒壓5V～10V
15
電氣連接形式
4纜線
16
典型接口尺寸
M5×0.8（mm）
≤Φ20（mm）
≤Φ2（mm）
≤2 ×2、≤Φ3（mm）
7*、1*
注：1*. 可用戶定制； 2*. 100MPa量程過載為本量程上限；
3*. 5VDC恒壓激勵，恒溫25℃； 4*. 非線性算法為最小二乘法；
5*.外無源補償后的熱漂移; 6*. 55℃溫區為-30～25℃或25～80℃；
注：可提供定制服務，如有需求請與營銷人員聯系。
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