BE-T500膜厚測試儀

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地沈陽市

在線詢價收藏產品查看聯系電話

塑料機械網采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯系方式：查看聯系方式

更新時間：2024-10-26 17:14:54瀏覽次數：29次

聯系我時，請告知來自塑料機械網

產品分類 品牌分類

暫無信息

沈陽北博電子科技有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：30條

所在地區：

詢價 給他留言

產品簡介

紅外厚度測量儀采用光學干涉原理、非接觸測量折射率較大或者厚度較大的樣品，比如硅晶圓、鈮酸鋰、鉭酸鋰等，測量分辨率達到納米量級。該儀器具有測量迅速、操作簡單、結果穩定、用戶使用界面易于操作等特點，是目前市場上性價比優良的厚度測量儀之一。可用于離線或在線厚度的實時測量。

詳細介紹

產品簡介

紅外厚度測量儀采用光學干涉原理、非接觸測量折射率較大或者厚度較大的樣品，比如硅晶圓、鈮酸鋰、鉭酸鋰等，測量分辨率達到納米量級。該儀器具有測量迅速、操作簡單、結果穩定、用戶使用界面易于操作等特點，是目前市場上性價比優良的厚度測量儀之一。可用于離線或在線厚度的實時測量。

產品特點

全光學非接觸式測量，無須破壞樣品或做前處理
高速、高靈敏度、高精確度、高重復性測量
采用近紅外光(NIR)，每個波長的測量功率更高
雙光路設計，以增加探測光路強度
包含顯微成像系統，方便準確定位測量部位
可以測量玻璃蓋板下面硅基的厚度
高動態范圍，對表面缺陷和粗糙度不敏感，可測量不規則表面
能夠在濕法蝕刻過程中進行原位測量

技術參數
測量類型含顯微成像系統不含
波長范圍 950-1100nm
分辨率/波長間隔 0.12nm/0.04nm
探測器 Toshiba,3648 Pixels CCD
積分時間 4ms-60s
信噪比優于 300:1（飽和時）
可測量厚度（n=3.5） 5µm-500µm
可測量厚度（n=1.5） 10µm-1400µm
使用光源近紅外
分辨率 1nm
準確度小于±0.5%或者 0.5µm（取較大值）
重復性小于±0.1%或者 0.1µm（取較大值）
測量模式反射法
入射角度 90°
測試材料硅晶圓等
工作距離約為 25mm（物鏡前端至樣品表面）
測量視野小于 500µm
測量時間小于 50ms
數據通信接口 USB2.0
電源 AC220V±10%/50Hz±0.1%
尺寸 250x 90x 280mm（寬 x 高 x 深）
操作系統 Windows7/Windows10

設備支持定制，詳細資料請聯系營銷人員獲取。