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掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000 II

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產品簡介

的SEM更為緊湊寬幅僅為45 cm的緊湊型的設計，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。全新開發的用戶界面和電子光學系統讓您深切體驗其高性能。

詳細介紹

掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000 II

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掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000 II

“的SEM更為緊湊”
寬幅僅為45 cm的緊湊型的設計，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。
全新開發的用戶界面和電子光學系統讓您深切體驗其高性能。

特點
規格
觀察示例
視頻
三維測量軟件

特點

FlexSEM 1000 II，憑借全新設計的電子光學系統和高靈敏度檢測器，可在加速電壓20 kV下實現4.0 nm的分辨率。全新開發的用戶界面，具有亮度和對焦自動調節功能，可以在短時間內進行各種觀察。此外，還搭載了全新的導航功能“SEM MAP”，這個功能可彌補電子顯微鏡上難以找準視野的缺點，實現最直觀的視野移動。

盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型^*1電子顯微鏡，仍可實現4.0 nm的分辨率
憑借的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測器、低真空檢測器（UVD^*2），可在低加速/低真空下觀察時實現的畫質
全新的用戶界面，無論用戶的熟練程度如何，都可實現高畫質和高處理能力
全新的定位功能“SEM MAP”，支持觀察時的視野搜索和樣品定位
大直徑（30毫米²）無氮EDS檢測器，可快速進行元素分析^*2

*1: 設置到桌面上時，請將機體與電源盒分離
*2: 選項

小型高性能色譜柱

尺寸雖小，卻具備同類產品中的分辨率。

金顆粒沉積（SE）
金顆粒沉積
加速電壓：20 kV
倍率：60,000倍
信號：SE
分辨率：4 nm

金顆粒沉積（BSE）
金顆粒沉積
加速電壓：20 kV
倍率：50,000倍
信號：BSE
分辨率：5 nm

高畫質

配備可優化放射電流的功能，以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度，而獲得噪點小且清晰的圖像。

儲氫合金（SE）
儲氫合金
加速電壓：5 kV
倍率：30,000倍
信號：SE、無金屬涂層

Al-Ni復合材料（BSE）
Al-Ni復合材料
加速電壓：3 kV
倍率：10,000倍
信號：BSE、無金屬涂層

可用高畫質和快速觀察

搭載GUI和自動調節功能，讓初學者也能得心應手。只要按一下自動對焦（AFC）、自動亮度調節（ABCC）按鈕，就可以獲得的圖像。（自動調節：與以往相比，縮短時間約13秒^*3）當然，也可以通過觸屏進行操作。

*3: 對比日立SEM SU1510

全新定位系統“SEM MAP”

“SEM MAP”功能可有效實現觀察時的視野搜索和樣品定位。根據內置攝像頭所拍攝的圖像，定位樣品，一鍵點擊即可移動到觀察部位。
在SEM MAP上導入的圖像會自動進行粘貼，并以分布圖的形式顯示。

可放置在桌面上的緊湊型電子顯微鏡

寬幅僅為45厘米，緊湊型設計，地減小占用空間。機體僅支持AC100 V 3P電源插座。此外，機體和電源盒可以分離，從而大幅度提升諸如桌面設置等的布局靈活性。

FlexSEM 1000 II

規格

項目	內容
分辨率^*3	4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式）
加速電壓	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （顯示器顯示倍率）
低真空設置	6～100 Pa
電子槍	集中燈箱（Pre-Centered Cartridge Filament）
樣品臺	3軸馬達驅動樣品臺 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 可觀察范圍：直徑64mm（R聯用）^*4
樣品尺寸	直徑80 mm（選配：直徑153mm）
樣品高度	40 mm
尺寸	機體：450（寬度）×640（進深）×690（高度） mm 電源盒：450（寬度）×640（進深）×450（高度） mm
選項	高敏感度低真空檢測器（UVD2.0）能量色散型X射線檢測器（EDS）
軟件	Multi Zigzag（連續視野圖像導入功能）

*: PC、桌子、監控器由客戶準備
*3: 機體和電源盒連接時候
*4: 使用標準支架時

觀察示例

半導體
材料
生物

半導體

焊線

加速電壓：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：1,000倍
信號：BSE、無金屬涂層

加速電壓：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：5,000倍
信號：BSE、無金屬涂層

材料

二硫化鎢

FlexSEM 1000 II采用新型偏壓系統，可在低加速電壓下獲得高放射電流。從而，在低加速電壓下也能實現同類產品中的圖像清晰度（S/N）。

加速電壓：15 kV
倍率：10,000倍
信號：SE、無金屬涂層

加速電壓：3 kV
倍率：10,000倍
信號：SE、無金屬涂層

水泥

加速電壓：3 kV
倍率：15,000倍
信號：SE、無金屬涂層

黃銅礦

加速電壓：5 kV
真空度：40 Pa
倍率：1,000倍
信號：BSE、無金屬涂層

生物

蝴蝶翅膀斷面

加速電壓：15 kV
加速電壓：5 kV
倍率：40,000倍
信號：SE、有金屬涂層

花粉

加速電壓：3 kV
加速電壓：5 kV
真空度：60 Pa
倍率：500倍
信號：UVD、無金屬涂層

視頻

寬度僅為45厘米的緊湊型電子顯微鏡，仍具備4.0 nm的圖像分辨率！

全新開發的用戶界面和電子光學系統讓您深切體驗其高性能

三維測量軟件

Hitachi map 3D（選項）

利用SEM上4分割背散射電子檢測器所獲得的信號，可計算4個方向的表面形狀，從而無需進行樣品傾斜和視野對位，即可構建三維模型。
Hitachi map 3D支持多個國家的語言，具備用于調節樣品位置的各種校正功能、以及可追溯測量過程的測量系統、符合ISO標準的表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）的測定、此外還包括表面積、體積等其他測量功能以及報告輸出等功能。

詳情請瀏覽“日立領域”頁面。