日本azbil山武CMS氣體質量流量計
品牌：AZBIL/山武(成立于1906年)
型號：CMS系列
類型：氣體質量流量計
測量范圍：2ML-2000L/MIN（可選）
精度等級：±2%RD
適用介質：空氣/氮氣/氧氣/氬氣/氫氣/氦氣/氨氣/二氧化碳/城市煤氣13A/甲烷/丙烷/丁烷/乙炔（不含腐蝕性成分）
耐壓：1.5MPa
工作溫度：-10~+60℃
AZBIL山武氣體流量控制器CMS0200BSRN21010C是一種氣體質量流量計，使用了山武公司研發的微流量傳感器μF單元。AZBIL山武氣體流量控制器CMS0200BSRN21010C這一傳感器是一個芯片型感熱式質量流量傳感器，直接安裝于流體管路中，可以測量低流速的流體流量，使CMS具有100:1的測量比。微流量傳感器芯片與*的流體管路設計的結合，使該儀表測量精度高、量程比大，且成本低。
特點：
1：由于采用直接質量流量測量，因此實現了不受溫度、壓力變動影響的準確測量；
2：實現了±2%RD的精度，0.5%FS的重復性、100:1的高量程能力；
3：CMS具有瞬時、累計流量顯示、模擬輸出、累計脈沖輸出、事件輸出2點、模擬輸出定標功能以及RS-485通信功能；
4：采用山武公司的管內壁測量方式，實現了500PA（CMS200一次壓力49KPA）的低壓力損失。
日本azbil山武CMS氣體質量流量計常用型號：
MQV0005BSRN01010C MQV0020BSRN01010C MQV0050BSRN01010C MQV0200JSRN01010C
MQV0020BSRS01010C MQV0050BSRS01010C MQV0200JSRS01010C MQV0050CSSN01010C
CMS0020BSRN21010C CMS0050BSRN21010C CMS0200BSRN21010C MPC0020BBRN01000C
MCS100A104 MCS100A112 MPC0020BBRN02000C MPC0020BBRSW2000C MPC0020BBRSW1000C
