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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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IC STOCKER潔凈機(jī)器人

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間：2023-09-12 08:47:45瀏覽次數(shù)：134次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FOUP STK，高潔凈度，電纜供電，低噪音，行走免潤(rùn)滑，SEMI軟件接口，碰撞保護(hù)功能，MCBF50000次，Automatic teaching,設(shè)備可定制

詳細(xì)介紹

用于IC行業(yè)FOUP自動(dòng)化搬送、存儲(chǔ)，實(shí)現(xiàn)晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉(zhuǎn)。優(yōu)化結(jié)構(gòu)及氣流流場(chǎng)設(shè)計(jì)，可使?jié)崈舳冗_(dá)到ISO Class4等級(jí)要求；帶有豐富的安全設(shè)計(jì)和靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)FOUP、晶圓、人身安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級(jí),減少不必要的損失；全新的系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)邏輯規(guī)劃，提高產(chǎn)品搬送效率；標(biāo)準(zhǔn)的SEMI軟件接口，可以方便對(duì)接面板廠MCS系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)上報(bào)系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)工廠智能管理；可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制設(shè)備功能及尺寸。


參數(shù)：

設(shè)備

IC Stocker

運(yùn)動(dòng)軸

行走 / 提升/ 旋轉(zhuǎn)/ 叉取

有效負(fù)載

10kg

控制

PLC+PC

電源供應(yīng)

VAC 220V±10%

電機(jī)

伺服電機(jī)

行走

驅(qū)動(dòng)

齒輪齒條+減速機(jī)+電機(jī)

速度

2.2m/s

提升

驅(qū)動(dòng)

電機(jī)減速機(jī)+同步帶+帶輪

速度

1.75m/s

旋轉(zhuǎn)

驅(qū)動(dòng)

電機(jī)+同步帶+減速機(jī)

速度

120°/sec

叉取

驅(qū)動(dòng)

電機(jī)減速機(jī)+同步帶+帶輪

上/下料時(shí)間

4.8s

叉取FOUP精度

±0.5mm


關(guān)鍵詞：PLC PC 伺服電機(jī)

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