真空機械手Titan1500C

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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產品簡介

采用磁流體密封技術，網絡化控制系統，具有*的防碰撞保護功能及動態糾偏功能，通過SEMI認證，MCBF大于1000萬次，同時具備超高潔凈度，耐高溫、耐腐蝕，負載能力強等特點。滿足個性化設計支持用戶定制，負載、手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。是大負載真空機械手的*之選。

詳細介紹

Titan1500C作為LED芯片制造領域的真空機械手產品，大負載真空機械手主要用于LED芯片制造過程中，實現裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送，具有真空度高，傳輸效率高，負載能力強，耐高溫等特點，大大提高了LED芯片生產制造的良率和效率，是LED芯片制造裝備的關鍵產品。本產品在集成電路制造用真空機械手的基礎上，針對其大負載需求，創新了其傳輸結構和控制規律，使其能夠達到12kg的負載能力，同時保持很小的占用體積，保持高耐真空度及潔凈等級。

參數：

結構形式Mechanical Structure		柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驅動方式Driving method		伺服電機Servo Motor
手數量Number of Arm		單臂Single Arm
負載Payload	名稱Name	托盤Tray
	直徑Diameter	Φ716mm
	重量Weight	≤12kg
自由度數DOF		3
手臂長度Arm Length		355mm
手指長度（安裝中心至硅片中心） Finger length(distance from install center to wafer center)		810mm
運動范圍 Moving Range	R軸R-axis	≤1500mm
	θ軸θ-axis	無限回轉Infinite Rotation
	Z軸Z-axis	150mm
全行程最小時間 Swap time	R軸R-axis	＜27.8s（Home to Extend 1500mm）
	θ軸θ-axis	＜15s(180°)
	Z軸Z-axis	13s（150mm）
重復定位精度Repeatability	R軸R-axis	±0.2mm(3σ)
	θ軸θ-axis	±0.2mm(3σ)
	Z軸Z-axis	±0.2mm(3σ)
最小回轉半徑Robot Clearance Radius		762.5mm
下垂量Deflection		5mm
真空度 Vacuum level		＜5×10^-9 Torr
漏率Leak Rate		＜1×10^-9 std.cc/sec He
電源Electrical		208VAC(50Hz/60Hz)
電源范圍電壓波動范圍		單相交流208V +10%，-15%
通信接口Communication Network		Ethernet
重量Drive body+arm set weight		195kg
行程		1500mm