真空機械手PHOENIX-S25

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更新時間：2023-09-11 13:56:15瀏覽次數：251次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：134條

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產品簡介

直驅電機結構，全新的IO模塊，具有*的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。

詳細介紹

直驅電機結構具有更高的真空特性，內部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能，。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能，減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用，并支持熱插拔功能。可以根據客戶應用的特殊要求，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。

參數：

本體重量	50KG
適用晶圓尺寸	300mm/200mm/150mm/100mm
負載	＜500g
電源輸入	AC電壓:AC208V AC頻率：50HZ/60HZ
電源范圍電壓波動范圍	單相交流208V +10%，-15%
節拍	R axis＜3（Home to Extend703mm）
	θ axis＜2.5s(180°)(根據實際摩擦力)
	Z axis＜1.8s（90mm）
重復定位精度	Z: ±0.05mm（3σ）
	T: ±0.003°（3σ）
	R: ±0.05mm（3σ）
漏率	< 1 x 10^-9 std. cc/sec He
真空度	5X10^-9Torr
適用溫度	法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃
行程	R軸703mm Z軸90mm
潔凈度	ISO CLASS1
MCBF	>11million cycles
復合運動	支持
PC遠程操作軟件	支持
通信接口	Ethernet/串口
IO互鎖	支持
安全區	支持
碰撞保護	支持