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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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SRBZ820C-SMSX潔凈機(jī)器人

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間：2023-09-11 13:34:39瀏覽次數(shù)：261次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

磁流體密封、網(wǎng)絡(luò)化控制器、MCBF大于1000萬(wàn)次，SEMI認(rèn)證S2，F(xiàn)47，迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)具有手臂長(zhǎng)度、自由度可選，手指及接口用戶可定制的特征，耐腐蝕，動(dòng)態(tài)糾偏和碰撞保護(hù)功能。

詳細(xì)介紹

采用*的磁流體密封技術(shù)，具有噪音小、振動(dòng)小、運(yùn)行平穩(wěn)、精度高等特點(diǎn)。具有更靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)機(jī)械手和客戶晶圓。全新的軌跡規(guī)劃，提高運(yùn)動(dòng)節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能。安全區(qū)保護(hù)等功能有效地提高了產(chǎn)品的安全等級(jí)。在半導(dǎo)體前道設(shè)備中廣泛應(yīng)用，對(duì)設(shè)備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務(wù)，快速響應(yīng)的售后服務(wù)，以及敦實(shí)的技術(shù)實(shí)力，是我們的主要競(jìng)爭(zhēng)力。推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國(guó)內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。


參數(shù)：

型號(hào)

SRBZ820C-SMSX

密封方式

磁流體密封

自由度數(shù)

2

負(fù)載

名稱

托盤

直徑

Φ330mm

重量

1.5kg

運(yùn)動(dòng)范圍

R軸（mm）

立柱中心至R軸伸展處被搬運(yùn)物體中心距離820

θ軸（°）

360

全行程最小時(shí)間

R軸（s）

2.5

θ軸（s）

4.8

重復(fù)定位精度

θ軸（°）

±0.01（3σ）

R軸（mm）

±0.1（3σ）

重量

機(jī)械手本體

41kg

控制器

15kg

耐真空度(Pa)

＜5×10-9 Torr

漏率

＜1×10-9 std.cc/sec He

碰撞保護(hù)

盤片和機(jī)械手無(wú)損傷

行程

820mm

電源范圍 電壓波動(dòng)范圍

單相交流208V +10%，-15%


關(guān)鍵詞：機(jī)械手 控制器

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