貨號 | 型號 | X1軸測量范圍mm | 備注 | Z2軸垂直行程mm | Y軸工作臺裝置 | α軸裝置 |
12AAD552 |
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| 圓錐測針 (標準附件) |
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12AAD554 |
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| 標準測針 (標準附件) |
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12AAD556 |
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| 小孔測針 |
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12AAD558 |
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| 離心型針尖 |
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12AAD560 |
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| 深槽針尖 |
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12AAD562 |
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| 2 倍長針尖*1 |
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525-401* | CS-3200S4 | 100mm |
| 300mm | 可選 | 已安裝 |
FORMTRACEPAK-6000 | FORMTRACEPAK-6000 |
| 軟件選件 |
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基本技術參數:
基座尺寸 (W x D): 600 x 450mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (主機)
重量: 140kg (主機)
電源: 100 – 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (主機)
技術參數:
X1 軸
測量范圍: 100mm
分辨率: 0.05μm
驅動速度: 0 - 80mm/s 外加手動
測量速度: 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s(在表面粗糙度測量時)
0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/s(在輪廓測量時)
測量方向: 向前／向后
直線度: 0.2μm/100mm (0.4μm/100mm: 在輪廓測量時)
* 以X1 軸為水平方向上
指示精度 (20oC): ±(0.8+0.01L)μm
L = 驅動長度 (mm)
傾斜范圍: ±45o
Z1 軸
測量范圍: 5mm
分辨率: 80nm (5mm 范圍)
8nm (0.5mm 范圍)
0.8nm (0.05mm 范圍)
指示精度 (20oC): ±(1.5+I2HI/100)μm
H 為基于水平位置的測量高度 (mm)
測力: 0.75mN
跟蹤角度: 向上: 65o, 向下: 65o(使用配置的標準測頭，依表面粗糙度而定)
測針針尖 (標準型): 金剛石針尖,
針尖角度: 60o, ***半徑: 2μm
測針針尖 (圓錐): 藍寶石針尖,
針尖角度: 30o, ***半徑: 25μm
測針方向: 向下
Z2 軸 (立柱)
立柱移動: 300mm
分辨率: 1μm
驅動速度: 0 - 20mm/s 外加手動
*產品信息僅供參考，型號和技術參數生產廠家有可能隨時更改
