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MX61A MX63L 半導體電動檢查顯微鏡——適合 300mm 晶圓檢查用的電動機型(反射專用)。
MX61A MX63L 半導體電動檢查顯微鏡——適合 300mm 晶圓檢查用的電動機型(反射專用)。 通過軟件控制內外部設備的顯微鏡系統。采用電動控制,可不受樣品或操作人員等各種條件的影響,實現良好的檢查環境。 ● 可適用于明場、暗場、微分干涉、熒光、簡易偏光觀察。 ● 可搭載適用于多種設備的自動對焦機構。
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