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OLS4100 3D 測量激光顯微鏡——以接近納米級的高分辨率進行 3D 觀察與和測量的激光顯微鏡。
OLS4100 3D 測量激光顯微鏡——以接近納米級的高分辨率進行 3D 觀察與和測量的激光顯微鏡。 可以更簡便、更快速、更大范圍地獲得圖像。 具備智能掃描功能,任何人都可以一鍵完成過去只有熟練操作人員才能進行的獲取 3D 圖像操作。 通過使用方便、高速的圖像拼接功能,可在更大的范圍內進行高精度的測量。 ● 綜合倍率:108X~17,280X ● 測量項目:高度測量、長度測量、線粗糙度測量、面粗糙度測量、粒子分析、邊緣自動識別、膜厚測量。 ● 分辨率:0.12µm(平面)、0.01µm(高度) ● 重復性(平面):3σ n-1 =0.02µm,重復性(高度):σ n-1 =0.012µm ● 準確度(平面):測量值的 ±2% 以內,準確度(高度):0.2+L/100µm 以下(L= 測量長度 µm)
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