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成都萊峰科技有限公司
LFIX系列氣流控制系統由質量流量傳感器、熱式原件、質量流量調節閥和壓力檢測組件等組成,它利用流動的流體不同的流量效應而制成,其原理是采用量熱法原理測量氣體的質量流量,并分別控制各自氣體的流量,進入混合器進行精密混合,將混合后的氣體按需輸出給用氣點,同時設備自帶多種測量原件對氣體進行檢測,保證混合的精確性。
超長耐用 輕便簡潔 操作簡單 放心選擇
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LFIX系列氣流控制系統由質量流量傳感器、熱式原件、質量流量調節閥和壓力檢測組件等組成,它利用流動的流體不同的流量效應而制成,其原理是采用量熱法原理測量氣體的質量流量,并分別控制各自氣體的流量,進入混合器進行精密混合,將混合后的氣體按需輸出給用氣點,同時設備自帶多種測量原件對氣體進行檢測,保證混合的精確性。
特點
氣流控制系統能準確可靠的測量和控制氣體質量流量,測量和控制精度高、零飄小,測量和控制范圍寬,測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓力的影響,為半導體設備提供氮氣控制及氮氣溫度的控制測量,保證半導體設備能夠正常運行。。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
耐用
耐腐
☆主體采用不銹鋼(304或316L)結構,氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。
穩定
精確計量
安裝便捷
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。
☆配合流量積算儀,可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
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環保
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特種材料學科
化學化工
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應用行業:半導體材料,電工陶瓷材料,電子元器件光電子,激光儀器,儀器儀表,光儀及配件,工業自動化裝置,電子電工產品制造設備,電子電工產品設計加工等其他。
用于進行精密測量,具有精度高,穩定性好,可靠性高,安裝簡單,操作方便。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
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