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桌面型高性能磁控濺射系統 Desktop Pro

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產品簡介

桌面型高性能磁控濺射系統 Desktop Pro

詳細介紹

桌面型高性能磁控濺射系統
Desktop Pro提供了一種高性能，小巧，實惠的磁控濺射系統
節省空間
Desktop Pro只需要不到36英寸的空間（0.9m）
節省費用
一個電源可以驅動兩個靶槍
均勻性好
傾斜的靶槍和旋轉工件盤使得在整個工件盤上達到5%的鍍膜均勻性
抽真空速度快
抽速65lps的渦輪分子泵，保證系統優秀的抽真空性能和對反應氣體的負載能力
Desktop Pro產品彩頁下載

強大的控制系統
基于PLC的觸摸屏控制系統提供下列操作模式：維修模式，手動操作模式和半自動操作模式
互鎖保護避免不適當操作對人員和設備的損害

典型應用
磁控濺射
磁控濺射
材料研究
產品質量控制和分析
半導體失效分析
納米技術
復合半導體

可選項
磁控濺射
液氮冷阱
共濺射
射頻/直流濺射電源
多靶槍
質量流量控制器，精確控制氣體流量
泵選項
無油機械泵