真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-8L-S
名稱(Name)
真空式等離子處理系統(tǒng)
型號(hào)(Model)
CRF-VPO-8L-S
控制系統(tǒng)(Control system)
PLC+觸摸屏
電源(Power supply)
380V/AC,50/60Hz,3kw
中頻電源功率(MF Power)
600W/13.56MHz
容量(Volume)
80L(Option)
層
真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-8L-S
名稱(Name)
真空式等離子處理系統(tǒng)
型號(hào)(Model)
CRF-VPO-8L-S
控制系統(tǒng)(Control system)
PLC+觸摸屏
電源(Power supply)
380V/AC,50/60Hz,3kw
中頻電源功率(MF Power)
600W/13.56MHz
容量(Volume)
80L(Option)
層數(shù)(Electrode of plies)
8(Option)
有效處理面積(Area)
400(L)*300(W)(Option)
氣體通道(Gas)
兩路工作氣體可選: Ar、N2、CF4、O2
產(chǎn)品特點(diǎn):超大處理空間,提升處理產(chǎn)能,采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),有效控制設(shè)備運(yùn)行。
可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù),滿足客戶的需求。
保養(yǎng)維修成本低,便于客戶成本控制。
高精度,快響應(yīng),良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。
應(yīng)用范圍:主要適用于生物醫(yī)療行業(yè),印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。
等離子清洗機(jī)在電子工業(yè)的使用情況如何呢?
等離子清洗機(jī),也叫做等離子表面處理儀,是全新的高科技儀器,它利用活性組分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理處理,達(dá)到清潔的目的,除了具有清潔的作用外,還能夠進(jìn)行活化和刻蝕等,廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,下面給大家舉個(gè)例子:在電子工業(yè)清洗中的干法清洗,過程中需要真空泵制造一定的真空條件滿足清洗所需。下面來看看等離子清洗機(jī)的作業(yè)流程及注意事項(xiàng)。
等離子清洗所需要的等離子體主要通過特定的氣體分子在真空、放電等特殊場合下產(chǎn)生,像低壓氣體輝光等離子體。簡單地說,等離子清洗需要在真空狀態(tài)下進(jìn)行(一般需保持在100Pa左右),所以需要真空泵進(jìn)行抽真空作業(yè)。
其主要過程包括:先將需要清洗的工件送入真空室固定,啟動(dòng)真空泵等裝置開始抽真空排氣到10Pa左右的真空度;接著向真空室引入等離子清洗用的氣體(根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,選用的氣體也不同,如氧氣、氫氣、氬氣、氮?dú)獾?,并將壓力保持在100Pa左右;在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電使其發(fā)生離子化,產(chǎn)生等離子體;在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體*覆蓋被清洗工件后,開始清洗作業(yè),清洗過程會(huì)持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
下面具體介紹下使用等離子清洗機(jī)要注意什么。
1、在開啟等離子清洗機(jī)之前,要做好各種準(zhǔn)備工作,首先要對(duì)操作的工作人員進(jìn)行技術(shù)方面的培訓(xùn),讓他們能夠熟練掌握操作的程序,嚴(yán)格按照操作要求進(jìn)行使用。
2、在正式使用等離子清洗機(jī)之前,要對(duì)它運(yùn)行時(shí)的參數(shù)進(jìn)行正確的設(shè)置,并且要按照儀器的使用說明書去認(rèn)真的執(zhí)行操作,不能隨意地使用。
3、要保護(hù)好等離子體的點(diǎn)火裝置,這樣才能保證等離子清洗機(jī)正常的開啟,要不然會(huì)導(dǎo)致開啟困難或者是開啟異常等。
4、如果對(duì)一次風(fēng)管沒有通風(fēng)的情況下,要保證等離子體的發(fā)生器的運(yùn)行時(shí)間在規(guī)定的時(shí)間內(nèi),不能大于設(shè)備說明書上要求的時(shí)間,要不然會(huì)把燃燒器破壞掉,從而造成很多不必要的損失。
5、要定期進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。在對(duì)等離子清洗機(jī)進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)
的時(shí)候,要先把設(shè)備的電源關(guān)閉,待斷電后才能進(jìn)行相應(yīng)的操作,一定不能帶電操作,以防發(fā)生意外。