蔡司GeminiSEM系列高對比度、低電壓成像的場發射掃描電子顯微鏡
具有出色的探測效率,能夠輕松地實現亞納米分辨成像。無論是在高真空還是在可變壓力模式下,更高的表面細節信息靈敏度讓您在對任意樣品進行成像和分析時都具備更佳的靈活性,為您在材料科學研究、生命科學研究、工業實驗室或是顯微成像平臺中獲取各種類型樣品在微觀世界中清晰、真實的圖像,提供靈活、可靠的場發射掃描電子顯微鏡技術和方案。
基本規格 | 蔡司 GeminiSEM 500 | 蔡司 GeminiSEM 450 | 蔡司 GeminiSEM 300 |
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| 熱場發射電子槍,穩定性優于0.2 %/h |
加速電壓 | 0.02 - 30 kV |
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探針電流 | 3 pA - 20 nA | 3 pA - 40 nA | 3 pA - 20 nA |
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(100 nA配置可選) | (100 nA或300 nA配置可選) | (100 nA配置可選) |
存儲分辨率 | 高達32k × 24k 像素 |
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放大倍率 | 50 – 2,000,000 | 12 – 2,000,000 | 12 – 2,000,000 |
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標配探測器 | 鏡筒內Inlens二次電子探測器 |
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樣品室內的Everhart Thornley二次電子探測器 |
可選配的 項目 | 鏡筒內能量選擇背散射探測器 |
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- | 角度選擇背散射探測器 | 角度選擇背散射探測器 |
環形STEM探測器(aSTEM 4) |
EDS能譜儀 |
EBSD探測器(背散射電子衍射) |
NanoVP可變壓力模式 |
高效VPSE探測器(包含在NanoVP可變壓力選件中) |
局部電荷中和器 |
可訂制特殊功能樣品臺 |
環形背散射電子探測器 |
陰極射線熒光探測器 |