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通倍福el1134端子模塊原裝BECKHOFF倍福PLC*現貨過 EtherCAT 實現極速加工 控制系統的核心部分是一臺 Beckhoff 控制柜式工控機 C6140(操作系統為 Windows XP 專業版)和 TwinCAT 自動 化軟件。“高速數據傳輸和處理是精確激光定位的前提條件。 因此,我們只使用高性能組件,如工控機 C6140、EtherCAT 總 線系統和 EtherCAT 端子模塊。”Tobias Reiter 如是說。Stefan Scharl 補充道:“這讓我們能夠獲得高采樣率、短周期時間(約 50 µs)和穩定的實時能力,它們都是激光束高精度定位的基 礎。 光刻系統的每根軸都有一個現場總線端子盒,*現貨用一根單獨的 電纜連接至控制柜。“這樣可減少布線工作量和拖纜數量, 這一點對我們來說特別關鍵。”Stefan Scharl 高興地說道。“我 們想要減少拖纜的使用量,用玻璃光纖來代替,以減少機械 故障發生幾率。” “我們使用 PROFIBUS 連接現場總線端子盒 和控制裝置,包括 PC 和手持裝置。*現貨由于 EtherCAT 具有開 放性,其它協議,如 PROFIBUS,也可通過總線端子模塊系統 輕松集成。” Tobias Reiter 解釋道。 借助 Beckhoff 驅動技術實現高精度定位 “直線電機用于移動龍門架和滑塊,而自動對焦系統的部件 則由伺服電機驅動。電機由 Beckhoff AX2xxx 系列數字式伺 服驅動器驅動。結合 TwinCAT 自動化軟件,我們能夠精確 定位激光,且重復精度高。”Tobias Reiter 如此說道。“盡管 滑塊運動具有高動態性,我們仍能夠實現勻速運動,在短暫 的加速階段后,速度公差小于 0.01 m/s。” *現貨直線電機為反向 旋轉。“這樣一來,我們就能夠避免高扭矩并可實現脈沖推 力補償。為了避免受到干擾,龍門架中兩根電氣獨立的直線 電機借助 TwinCAT NC PTP 通過耦合實現同步,精度可達 5 µm。” 龍門架與滑塊的每次移動都需要激活和取消激活空氣軸承。 “這一過程必須快速、精確,位置上無任何變動。”Stefan